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J-GLOBAL ID：200903035250005400

微動機構

Inventor： 村山 健 ,  森本 高史 ,  長澤 潔
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 武 顕次郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992144477
Publication number (International publication number)：1993333930
Application date： Jun. 04, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高い変位検出精度を得ることができ、ナノメートル、サブナノメートルの位置決めを正確、かつ、安定して行うことができる微動機構の提供。【構成】 固定側剛体5aおよび移動側剛体5bの間に圧電素子2が装架され、かつ、それら端部間に弾性部材6が設けられる。弾性部材6の表面の所定個所にはひずみゲージS1 〜S4 が設けられる。弾性部材6に生じるひずみは、弾性部材6の長さをLk 、移動側剛体5bの変位をδとすると、δ/Lk となり、弾性部材6の強度の範囲内で長さLk を短くしてやれば、より大きなひずみを得ることができ、これにより、高い変位検出精度を得ることができ、ひいては、ナノメートル、サブナノメートルの位置決めを正確、かつ、安定して行うことができる。

Claim (excerpt)：

圧電素子と、この圧電素子の一端に固定された第1の剛体と、前記圧電素子の他端に固定された第2の剛体とで構成された微動機構において、前記第1の剛体と前記第2の剛体との間に配置され、前記圧電素子の伸長方向に平行で、かつ、当該圧電素子の長さより短い弾性部材と、この弾性部材に生じるひずみを検出する検出手段とを設けたことを特徴とする微動機構。

IPC (4)：

G05D 3/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 41/09 ,  H02N 2/00