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J-GLOBAL ID：200903035310885073

加速度センサ

Inventor： 横山 章太郎 ,  天野 彰 ,  松崎 一夫
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 山田 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993300718
Publication number (International publication number)：1995151781
Application date： Dec. 01, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】 温度耐性に優れ、小型化や量産性も良好な加速度センサを提供する。【構成】 加速度センサは小型2極真空管であり、封止管10の中で一端10a側に冷陰極11を有し、この冷陰極11に電極対向空間Cをおいて対峙し、他端10b側に陽極12を備えており、Arガス(原子)Mが1mmHg封入されている。封止管10の一端10aと冷陰極11との間には陰極背後空間Aが設けられており、また封止管10の一端10bと陽極12との間には陽極背後空間Bが設けられている。温度変化の影響を受け難い電界放出機構と、加速度による内部ガスMの密度変化に伴う陽極電流値の変化を利用して加速度測定が可能である。

Claim (excerpt)：

冷陰極と陽極とを備え、希薄な気体を封入して成る真空管において、加速度の印加により前記冷陰極と前記陽極の間の対向電極空間中の気体密度を増減可能の連通空間部を有していることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3)：

G01P 15/02 ,  G01P 15/08 ,  H01J 17/40