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J-GLOBAL ID：200903035380523659
固体撮像装置の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992256024
Publication number (International publication number)：1994112456
Application date： Sep. 25, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 集光性の優れた形状のマイクロレンズを有する固体撮像装置の製造方法を提供する。【構成】 固体撮像装置上の目的とする受光部上にマイクロレンズ12を形成する材料である感光性樹脂に対して前記感光性樹脂が光硬化を起こさない照度で紫外線を照射させ、感光性樹脂の透過率を向上させる。これにより、感光性樹脂が光硬化を起こさず、紫外線照射後に加熱処理して集光性の優れた形状のマイクロレンズを形成することができる。
Claim (excerpt)：
固体撮像装置基板上に透明樹脂層を形成する工程と、前記透明樹脂層上に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層をパターン化する工程と、前記パターン化した感光性樹脂層に対して感光性樹脂層が光硬化を起こさない照度で紫外線領域の光を全面照射する工程と、前記紫外線照射後のパターン化した感光性樹脂層に対して前記パターン化した感光性樹脂層が溶融する温度で前記固体撮像装置基板を加熱処理し前記感光性樹脂層よりなるマイクロレンズを形成する工程とを有することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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