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J-GLOBAL ID：200903035394935127
被処理体の位置合わせ装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
後藤 隆英 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992202957
Publication number (International publication number)：1994027252
Application date： Jul. 07, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 従来の画像認識のものに比して、より少ない工数によって被処理体10の位置合わせを精度良く行わせることを可能とする。【構成】 水平面内において直交するX,Yの2方向に延在するラインイメージセンサ52aのセンサ部分を、被処理体10側に設けられた標点10aと交差させることによって、ラインイメージセンサ52aを構成する各微小センサセルSの大きさに対応した分解能の位置検出データを、X,Yの2方向にわたって同時に得、その位置検出データをCPU52jに印加し、CPU52jからの指令によって被処理体10の位置合わせを迅速かつ高精度に行うようにしたもの。
Claim (excerpt)：
水平面内において直交する2方向に平行移動可能、かつ鉛直軸の回り方向に回転移動可能に設けられた被処理体の載置台と、当該載置台を所定の方向に移動させる駆動機構と、被処理体に設けられた標点の位置を検出する位置検出装置と、を備えた被処理体の位置合わせ装置において、上記位置検出装置には、被処理体の標的に対応して出力を行う微小センサセルを直線状にアレイ配列したラインイメージセンサが設けられてなり、当該ラインイメージセンサにおける微小センサセルのアレイ配列方向は、前記載置台の水平面内移動方向である直交2方向と一致する2方向に設定されていることを特徴とする被処理体の位置合わせ装置。
IPC (3)：
G01V 9/04
, B23Q 17/24
, H01L 21/68
