硬質炭素膜及び硬質炭素膜被覆部材

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995061120
Publication number (International publication number)：1996259391
Application date： Mar. 20, 1995
Publication date： Oct. 08, 1996
Summary：

【要約】【構成】ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜において、X線回折におけるダイヤモンドのピークの強度について、f=(p-p0 )/(1-p0 )(ただし、pは配向試料における(注目ピーク強度)/(全ピーク強度の総和)とし、p0 は未配向試料における(注目ピーク強度)/(全ピーク強度の総和)と定めたときの各ピークにおけるfをf(hkl)で表したときに、f(111)≦-0.1、0.2≦f(220)≦0.9、|f(311)+f(400)+f(331)|≦0.1である。【効果】高い結晶性を有するダイヤモンドの結晶粒子を高い核生成密度で一定方向に配向させながら成長させているため、膜の表面が非常に平滑で、高耐摩耗摺動性、高熱伝導率、高光透過率を具備した硬質炭素膜を得ることができる。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンドを含有する硬質炭素膜において、X線回折におけるダイヤモンドのピークの強度について、f=(p-p0 )/(1-p0 )(ただし、pは配向試料における(注目ピーク強度)/(全ピーク強度の総和)とし、p0 は未配向試料における(注目ピーク強度)/(全ピーク強度の総和))と定めたときの各ピークにおけるfをf(hkl)で表したときに、f(111)≦-0.10.2≦f(220)≦0.9|f(311)+f(400)+f(331)|≦0.1を満足することを特徴とする硬質炭素膜。

IPC (5)：

C30B 29/04 , C23C 16/26 , C23C 16/50 , G01N 23/20 , B23B 27/14

FI (5)：

C30B 29/04 X , C23C 16/26 , C23C 16/50 , G01N 23/20 , B23B 27/14 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

硬質炭素膜及び硬質炭素膜被覆部材並びに硬質炭素膜生成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-009344 Applicant：京セラ株式会社
気相合成ダイヤモンド膜およびこの気相合成ダイヤモンド膜からなるX線露光用マスク
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-095643 Applicant：三菱マテリアル株式会社, 三菱電機株式会社
特開昭64-052699

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