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J-GLOBAL ID：200903035439234362

拘束層用セラミックグリーンシート及びこれを用いたセラミック基板の製造方法

Inventor：
中野 悟

About 中野 悟


Applicant, Patent owner：
株式会社住友金属エレクトロデバイス

About 株式会社住友金属エレクトロデバイス


Agent (1)： 加古 宗男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996335500
Publication number (International publication number)：1998167842
Application date： Dec. 16, 1996
Publication date： Jun. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】 加圧焼成時にガラスセラミック基板の両面に宛がう拘束層用セラミックグリーンシートを焼成後に基板から除去しやすくする。【解決手段】 ガラスセラミック基板11の両面に拘束層用セラミックグリーンシート12を宛がって加圧焼成する。拘束層用セラミックグリーンシート12は、ガラスセラミック基板11表面のアルカリ成分に対して耐蝕性があり且つガラスセラミック基板11の焼結温度では焼結しないセラミック(例えばMgO等)で形成することで、加圧焼成時に拘束層用セラミックグリーンシート12がガラスセラミック基板11に融着することを防止する。拘束層用セラミックグリーンシート12のセラミック粉末に対するバインダ樹脂、溶剤、可塑剤の配合比は、セラミック粉末に対する重量比で、バインダ樹脂が25重量%以下、溶剤が50重量%以下、可塑剤が0.5重量%以上であることが好ましい。
Claim (excerpt)：
ガラスセラミック基板を加圧しながら焼成する際に、該ガラスセラミック基板の両面に宛がわれ、該ガラスセラミック基板の焼成後に該ガラスセラミック基板の両面から除去される拘束層用セラミックグリーンシートであって、前記ガラスセラミック基板表面のアルカリ成分に対して耐蝕性があり且つ前記ガラスセラミック基板の焼結温度では焼結しないセラミック成形材料で形成したことを特徴とする拘束層用セラミックグリーンシート。
IPC (3)：
C04B 35/645 ,  C03B 19/06 ,  C04B 35/64
FI (4)：
C04B 35/64 N ,  C03B 19/06 D ,  C04B 35/64 G ,  C04B 35/64 K
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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