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J-GLOBAL ID：200903035441346321

電子源及び電子線装置

Inventor： 川浪 義実 ,  大嶋 卓 ,  細木 茂行 ,  早田 康成
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995142887
Publication number (International publication number)：1996339773
Application date： Jun. 09, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：

【要約】【目的】 エネルギー分散の小さい電子線を長時間安定に放射することが可能な電子源並びにこれを搭載した電子線装置を提供すること。【構成】針状電極1の尖端に、ギャップ電源5により針状電極1に対して正の電位を与えた薄膜電極2をギャップ駆動機構3により近付けることにより、針状電極1内部の電子(伝導電子)が薄膜電極2へトンネリングさせ、かつこの電子のうちの特定のエネルギーを持つ電子4を薄膜電極2から真空中に放射させる。【効果】 針状電極と薄膜電極との間に数ボルトの電位差を印加するだけで針状電極からの電子放出をイオン衝撃の影響を受けずに行え、且つ放出された電子を薄膜電極にトンネリングさせることで所望のエネルギーを有する電子のみで電子線を形成できる。

Claim (excerpt)：

第1の導電性部材と、該第1の導電性部材から電子がトンネル効果により入射するように第1の導電性部材に対して配置された第2の導電性部材と、該第1の導電性部材と該第2の導電性部材との間に電界を発生させる電界発生手段と、該第1の導電性部材と該第2の導電性部材との配置を調整する位置調整手段からなることを特徴とする電子源。