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J-GLOBAL ID：200903035448673506

プラスチック容器内へのDLC膜連続成膜装置及び連続成膜方法

Inventor： 浜 研一 ,  鹿毛 剛 ,  清水 常雄 ,  荒木 智幸
Applicant, Patent owner： 三菱商事プラスチック株式会社 ,  株式会社ユーテック
Agent (1)： 鴇田 將 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000312402
Publication number (International publication number)：2002121667
Application date： Oct. 12, 2000
Publication date： Apr. 26, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】内部電極に付着した異物を燃焼分解するクリーニング部を具備することにより、プラスチック容器内へのDLCを膜連続成膜可能な装置を提供する。【解決手段】 本発明に係るプラスチック容器の内側にDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を成膜する装置において、該プラスチック容器の外側近傍を囲むように配置された1以上の外部電極により構成される外部電極部と、該各プラスチック容器の内部に相対的に挿脱関係となるように配置される内部電極を具える内部電極部と、該プラスチック容器の内部に原料ガスを導入する原料ガス導入手段と、 該外部電極部に接続されたマッチングユニットと、該マッチングユニットに接続された高周波電源と、前記内部電極と相対的に挿脱関係にあって、前記内部電極に付着した異物を燃焼分解して除去する炉室を具えたクリーニング部と、を具備するものである。

Claim (excerpt)：

プラスチック容器の内側にDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を成膜する装置において、該プラスチック容器の外側近傍を囲むように配置された1以上の外部電極により構成される外部電極部と、該各プラスチック容器の内部に相対的に挿脱関係となるように配置される内部電極を具える内部電極部と、該プラスチック容器の内部に原料ガスを導入する原料ガス導入手段と、該外部電極部に接続されたマッチングユニットと、該マッチングユニットに接続された高周波電源と、前記内部電極と相対的に挿脱関係にあって、前記内部電極に付着した異物を燃焼分解して除去する炉室を具えたクリーニング部と、を具備することを特徴とするプラスチック容器内へのDLC膜連続成膜装置。

IPC (4)：

C23C 16/26 ,  B65D 1/09 ,  C23C 16/44 ,  B65D 23/02

FI (4)：

C23C 16/26 ,  C23C 16/44 J ,  B65D 23/02 Z ,  B65D 1/00 B

F-Term (25)：

3E033AA01 ,  3E033BA13 ,  3E033BA18 ,  3E033BB08 ,  3E033CA16 ,  3E033DB01 ,  3E033DD05 ,  3E033EA10 ,  3E062AA09 ,  3E062AB02 ,  3E062AC02 ,  3E062JA07 ,  3E062JB24 ,  3E062JC04 ,  3E062JD01 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030CA07 ,  4K030CA14 ,  4K030DA06 ,  4K030FA03 ,  4K030HA01 ,  4K030HA15 ,  4K030JA10 ,  4K030KA41