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J-GLOBAL ID：200903035493879026

プレーナー型ガルバノミラー

Inventor： 大高 和雄
Applicant, Patent owner： ミヨタ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999062463
Publication number (International publication number)：2000258721
Application date： Mar. 10, 1999
Publication date： Sep. 22, 2000
Summary：

【要約】【課題】 プレーナー型ガルバノミラーを携帯用装置に使用することができなかった。本発明は衝撃によりトーションバーが折れるのを防ぐことを目的としている。【解決手段】半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設け、半導体基板の上面には少なくとも可動板上方を開放した上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定する構成としたプレーナー型ガルバノミラーにおいて、上下絶縁基板と可動板の間に可動板の上下移動を規制する部材を設ける

Claim (excerpt)：

半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に反射鏡を設ける一方、半導体基板の下面に下側絶縁基板を設け、半導体基板の上面には少なくとも可動板上方を開放した上側絶縁基板を設け、前記トーションバーの軸方向と平行な可動板の対辺の平面コイル部に磁界を作用させる互いに対をなす永久磁石を前記上下絶縁基板に固定する構成としたプレーナー型ガルバノミラーにおいて、上下絶縁基板と可動板の間に可動板の上下移動を規制する部材を設けたことを特徴とするプレーナー型ガルバノミラー。

IPC (2)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08

FI (2)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08 E

F-Term (8)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ03 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB18 ,  2H045BA12