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J-GLOBAL ID：200903035494404986

電子ビームテスタシステム

Inventor： 田中 浩幸
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991295350
Publication number (International publication number)：1993256917
Application date： Nov. 12, 1991
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】電子ビームテスタで半導体装置の故障解析を実施する際、良品と不良品との電位分布像を比較して行うが、その為には毎回真空系から被測定半導体装置を出し入れせねばならず、解析に時間を要する。【構成】本発明は二つの真空系1,6及び二つの電子ビーム系2,7を有し、それぞれの2次電子検出器出力信号11,12の差分を取り差分出力信号13を生成し、画像処理装置17のCRTに差分画像を表示する。【効果】本発明により、実時間で二つの被測定半導体装置の電位分布像の差分画像が観察可能になり、解析時間を短縮できる効果がある。

Claim (excerpt)：

電子ビーム系、2次電子検出器、被測定試料を載置するXYステージを内包した真空系と、電子ビームパルス発生器と、LSIテスタと、画像信号処理装置とを備えた電子ビームテスタシステムにおいて、前記真空系を2つ備え、それぞれの真空系のパルス電子ビームをLSIテスタと同期させて同一周期・同一パルス幅で非測定試料表面上を走査させてそれぞれの2次電子検出器からの出力信号の差分を取り、この差分出力を画像信号処理装置により2つの被測定試料の電位分布像の差分画像として表示することを特徴とする電子ビームテスタシステム。

IPC (4)：

G01R 31/302 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66