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J-GLOBAL ID：200903035495692390

ガスフローセンサ及びその形成方法

Inventor： 多嶋 勉 ,  柿沼 弘明 ,  小野 崇人 ,  毛利 幹雄
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993250828
Publication number (International publication number)：1995103996
Application date： Oct. 06, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 製造工程の作業時間を短縮でき、かつ、小型化できるガスフローセンサの構造及びその形成方法を提供する。【構成】 検出素子25の一端を基板10の表面に固定してあり、残りの部分を基板と非平行、かつ、非接触状態としてある。従って、検出素子25の基板10と非平行、かつ、非接触な部分(検出部25b)は、基板の上方に突出した状態になる。このため、基板に沿って流れるガスに対して検出部は良好に接触する。

Claim (excerpt)：

基板と、検出素子とを具えるガスフローセンサにおいて、前記検出素子の一端を前記基板に固定してあり、残りの部分を、前記基板と非平行、かつ、非接触状態としてあることを特徴とするガスフローセンサ。

IPC (5)：

G01P 5/10 ,  G01F 1/68 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 29/84