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J-GLOBAL ID：200903035503954200

プラズマCVDによる炭化物コーティング方法

Inventor： 杉山 和夫
Applicant, Patent owner： 新技術事業団
Agent (1)： 小倉 亘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995274681
Publication number (International publication number)：1997087857
Application date： Sep. 27, 1995
Publication date： Mar. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 金属酸化物の粉体表面に炭化物をコーティングし、粉体を改質する。【解決手段】 金属酸化物の粉体を収容した容器7を真空引きし、容器7を回転させながらメタンと水素との混合ガスを供給すると共に、粉体に周波数1MHz〜10GHzの電磁波を照射してプラズマを発生させ、プラズマによりメタンを分解し、メタンから分解した活性基のCを金属酸化物の格子状酸素と置換することにより、触媒活性の高い炭化物コーティング層を粉体粒子の表面に形成させる。粉体を収容した容器7は、毎分20〜100回転の速度で回転させる。

Claim (excerpt)：

金属酸化物の粉体を収容した容器を真空引きし、前記容器を回転させながらメタンと水素との混合ガスを供給すると共に、前記粉体に電磁波を照射してプラズマを発生させ、該プラズマによりメタンを分解して得られる炭素と前記粉体中の格子状酸素とを置換し、前記粉体の粒子表面に炭化物を付着させることを特徴とするプラズマCVDによる炭化物コーティング方法。

IPC (3)：

C23C 16/50 ,  C23C 16/32 ,  C30B 29/36

FI (3)：

C23C 16/50 ,  C23C 16/32 ,  C30B 29/36 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-055163
  
• 人工ダイヤモンド被覆粉末の製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-292474   Applicant：加藤邦夫, 寳田恭之, 三菱マテリアル株式会社
• 特開昭59-137311