Pat
J-GLOBAL ID：200903035511966560

浮上ユニット及び基板検査装置

Inventor：
安田 守

About 安田 守


Applicant, Patent owner：
オリンパス株式会社

About オリンパス株式会社


Agent (4)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003126464
Publication number (International publication number)：2004331265
Application date： May. 01, 2003
Publication date： Nov. 25, 2004
Summary：
【課題】ガラス基板を平面状に矯正すること。【解決手段】エアーを吹上げてガラス基板24をエアー浮上させる浮上ブロック2、3に隣接して、浮上ブロック2、3よりも低く、エアー吸引孔17を設けた溝底部15の外周縁の全周に亘ってパッド壁16を設けて長方形状のパッド溝を有する吸引ブロック4を設けた。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
エアーを吹き出して基板を浮上させる浮上ブロックと、 この浮上ブロックに隣接して設けられ、窪みを有する長方形状又は楕円形状でかつ上面位置が前記浮上ブロックの上面位置よりも低く形成され、前記窪みの開口側全面からエアー吸引を行って前記基板を非接触で引き込む吸引ブロックと、を具備したことを特徴とする浮上ユニット。
IPC (5)：
B65G51/03 ,  B65G7/06 ,  B65G49/06 ,  G01N21/84 ,  G01N21/958
FI (5)：
B65G51/03 Z ,  B65G7/06 C ,  B65G49/06 Z ,  G01N21/84 C ,  G01N21/958
F-Term (7)：
2G051AA84 ,  2G051AA90 ,  2G051BB19 ,  2G051CA11 ,  2G051CC20 ,  2G051DA01 ,  2G051DA20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM