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J-GLOBAL ID：200903035516026565
パーティクルセンサーヘッド
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田原 寅之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991350511
Publication number (International publication number)：1993164682
Application date： Dec. 11, 1991
Publication date： Jun. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】各種ガスのプラズマ光が存在する真空装置内においても正確に作動するパーティクルモニター用のセンサーヘッドを提供する。【構成】パーティクルが侵入する開口 11 を側部に有する筒状のケーシング1内に、ビーム光Lの進む方向とパーティクルが侵入する方向で形成される仮想面と対面するフィルター4と、ビーム光が開口から侵入したパーティクルに衝突して発生する散乱光がフィルターを透過して検出される光検出器5が配置されたパーティクルセンサーヘッドにおいて、ケーシングの軸線方向に長い開口に、内面が光散乱もしくは光吸収する煙突状のガイド部材8を突設する。
Claim (excerpt)：
パーティクルが侵入する開口を側部に有する筒状のケーシング内に、光源と、この光源からの光をビーム状に形成する光学系と、このビーム光の進む方向とパーティクルが侵入する方向で形成される仮想面と対面するフィルターと、ビーム光が該開口から侵入したパーティクルに衝突して発生する散乱光がフィルターを透過して検出される光検出器と、ビーム光を受け止めるビームストッパーとが配置されたパーティクルセンサーヘッドであって、前記開口はケーシングの軸線方向に長い長孔であり、この開口に、内面が光散乱もしくは光吸収する煙突状のガイド部材が突設されたことを特徴とするパーティクルセンサーヘッド。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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