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J-GLOBAL ID：200903035535767347

複合構造物作製用ノズル及び複合構造物作製装置及び複合構造物作製方法

Inventor： 横山 達郎 ,  鳩野 広典 ,  辻道 万也 ,  明渡 純
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  東陶機器株式会社
Agent (1)： 小山 有
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002049240
Publication number (International publication number)：2003247080
Application date： Feb. 26, 2002
Publication date： Sep. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】 微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に衝突させ、前記基材表面に前記微粒子の構成材料からなる構造物を形成させる複合構造物作製装置に用いられるノズル、複合構造物作製装置及び複合構造物作製方法において、一定の比較的大きな面積の複合構造物を形成するに際し、均一な膜厚の構造物を短時間で作製するための複合構造物形成用ノズル、及び複合構造物作製装置及び複合構造物作製方法を提供する。【解決手段】 複合構造物作製装置に使用するノズルにおいて、エアロゾルを噴射させるための矩形の導出開口の長辺方向を拡大し、且つ導出開口から導出されるエアロゾル濃度が均一になるように、エアロゾルが通過するエアロゾル通過空間を有するノズル本体の内部形状を工夫することによって、均一な膜厚の構造物を短時間で作製することを可能にした。

Claim (excerpt)：

微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に衝突させ、前記基材表面に前記微粒子の構成材料からなる構造物を形成させる複合構造物形成装置に用いられるノズルにおいて、前記ノズルが、前記エアロゾルが通過するエアロゾル通過空間を有するノズル本体と、前記エアロゾルを導入するための導入開口と、前記エアロゾルを噴射させるための矩形の導出開口とを具備し、前記導出開口の短辺方向と対応する前記導入開口の部位から、前記導出開口の短辺方向の部位に向かって短辺方向寸法を連続的に減少させていくのに対し、前記導出開口の長辺方向と対応する前記導入開口の部位から、前記導出開口の長辺方向の部位に向かって長辺方向寸法を連続的に拡大させていくノズル内部形状を有することを特徴とする複合構造物形成装置用ノズル。

F-Term (5)：

4K044AB10 ,  4K044BA11 ,  4K044BB01 ,  4K044CA23 ,  4K044CA71