Pat

J-GLOBAL ID：200903035549635907

光硬化性樹脂の微細加工方法及び装置

Inventor： 岩田 太
Applicant, Patent owner： 国立大学法人静岡大学
Agent (1)： 越川 隆夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005306214
Publication number (International publication number)：2007112021
Application date： Oct. 20, 2005
Publication date： May. 10, 2007
Summary：

【課題】走査型シェアフォース顕微鏡とマイクロピペットプローブを利用した光硬化性樹脂の新しい微細加工方法及び装置を提供することにある。【解決手段】先端が開口した中空のマイクロピペットプローブ12を備えた走査型シェアフォース顕微鏡を用い、マイクロピペットプローブ12の内部に液状の光硬化性樹脂を充填し、マイクロピペットプローブ12の先端を透明な基板18の表面上の所定の位置に接触させ、透明な基板18の表面上に液状の光硬化性樹脂を所定の量だけ滴下させ、この滴下した光硬化性樹脂液の部分に励起用レーザ光54を照射して滴下した光硬化性樹脂液の部分を硬化させることで、透明な基板18の表面上に光硬化性樹脂の堆積物を形成することを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

先端が開口した中空のマイクロピペットプローブを備えた走査型シェアフォース顕微鏡を準備する段階と、該マイクロピペットプローブの内部に光硬化性樹脂液を充填する段階と、該マイクロピペットプローブの該先端を透明な基板の表面上の所定の位置に接触させる段階と、該透明な基板の表面上に該光硬化性樹脂液を所定の量だけ滴下させる段階と、該滴下した光硬化性樹脂液の部分にレーザ光を照射して該滴下した光硬化性樹脂液の部分を硬化させる段階と、を含む光硬化性樹脂の微細加工方法。

IPC (1)：

B29C 67/00

FI (1)：

B29C67/00

F-Term (14)：

4F213AA44 ,  4F213AG19 ,  4F213AH77 ,  4F213AR14 ,  4F213WA02 ,  4F213WA58 ,  4F213WA86 ,  4F213WA87 ,  4F213WB01 ,  4F213WE01 ,  4F213WF01 ,  4F213WF23 ,  4F213WF29 ,  4F213WF46