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J-GLOBAL ID：200903035554887400

積重ねたウエーハを自動的に個別化する装置及び方法

Inventor： ヴアルター・フランク ,  アルアベルト・ペムヴイーザー ,  ゲルハルト・スパツツイアー
Applicant, Patent owner： ワツカー・ケミトロニク・ゲゼルシヤフト・フユア・エレクトロニク・グルントシユトツフエ・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992018267
Publication number (International publication number)：1993063058
Application date： Jan. 07, 1992
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】薄い円板状加工品を積重ね体から個別化することは従来一般に手で実施された。そこで、機械的に接触することなく積重ね体からウェーハを持ち上げ、個別化したウェーハを囲いへと搬送し且つ保護しつつ自動的に持ち込むことのできる装置及びそれに対応した方法が提案される。円板状加工品(1) の積重ね体が送り装置(3) でウェーハマガジン(2) 内に送られ、送り装置はウェーハ積重ね体の一番上のウェーハ(4) を流動媒質(11)の作用範囲内に運び、流動媒質はノズル系(5) から優先方向に加圧下に流出する。堰板(8) が個々のウェーハの個別化を可能とする。本装置及び本方法は、歩留りを高めて慎重な個別化を可能とする。搬送装置(12)と囲い込み装置(13)と合わせて、円板状加工品を慎重に自動加工するプロセスラインを構成することができる。

Claim (excerpt)：

円板状加工品、特に半導体ウェーハをウェーハ積重ね体(1) から個別化する装置において、a)ウェーハ積重ね体の一番上のウェーハ(4) を流動媒質(11)の作用範囲内に運ぶ送り装置(3) を有しウェーハ積重ね体(1) を受容するウェーハマガジン(2) 、b)流動媒質を優先方向に加圧下に流出させるノズル系(5) 、c)ウェーハ積重ね体(1) から正確に1枚のウェーハを個別化することのできる堰板(8)を特徴とする装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-025028
  
• 特開昭57-141331