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J-GLOBAL ID:200903035560611262
欠陥検査装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 河野 哲
Gazette classification:再公表公報
Application number (International application number):JP2002009762
Publication number (International publication number):WO2003027652
Application date: Sep. 24, 2002
Publication date: Apr. 03, 2003
Summary:
本発明の欠陥検査装置は、試料を検査位置で一定の速度で少なくとも一方向に直線的に移動させる移動手段と、この移動手段により移動される前記試料の表面と裏面を照明する照明手段と、この照明手段により照明される前記試料を前記一定の速度で移動させながら前記試料の表面と裏面の全面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により取り込まれた前記試料の表面と裏面の全面の画像データを画像処理して前記試料の表面及び裏面の欠陥を検査する欠陥検査手段と、を具備している。
Claim (excerpt):
試料を検査位置で一定の速度で少なくとも一方向に直線的に移動させる移動手段と、
この移動手段により移動される前記試料の表面と裏面を照明する照明手段と、
この照明手段により照明される前記試料を前記一定の速度で移動させながら前記試料の表面と裏面の全面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により取り込まれた前記試料の表面と裏面の全面の画像データを画像処理して前記試料の表面及び裏面の欠陥を検査する欠陥検査手段と、
を具備したことを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (3):
G01N21/956
, G01N21/958
, H01L21/66
FI (3):
G01N21/956 A
, G01N21/958
, H01L21/66 J
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