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J-GLOBAL ID：200903035579768332

電子線照射装置

Inventor： 三宅 善信 ,  衛藤 喜市
Applicant, Patent owner： 株式会社太陽マテリアル ,  岩崎電気株式会社 ,  信越化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000205112
Publication number (International publication number)：2002022898
Application date： Jul. 06, 2000
Publication date： Jan. 23, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】光ファイバー等のコアーを被覆する樹脂の硬化に使用できる全周照射型の電子線照射装置を提供する。【解決手段】真空容器1内に配置された円筒型磁石8の内側に電子通過口11を持つ中間円筒電極7を同軸に配設し、中心軸に陽極6を同軸に配設する。円筒型磁石8と中間円筒電極7の間にマグネトロン放電電源9で電位差を与え、マグネトロン放電プラズマFを発生する。加速電源10により中間円筒電極7に陽極8に対し負の電圧を印加し、プラズマ中の電子を電子線通過口11から噴射させ陽極に向かって加速させる。中間円筒電極7の材質には磁性体を使い、加速空間に漏洩する磁場を遮断する。陽極6の電子線照射部をチタニウムの薄肉パイプとし、パイプの中心に光ファイバー4を走らせることにより、光ファイバーは大気雰囲気Aで照射される。

Claim (excerpt)：

真空中で円筒型磁石の内側に荷電粒子通過口を持つ中間円筒電極を同軸上に配設し、円筒型磁石と中間円筒電極の間に電位差をもたせることにより円筒型磁石と中間円筒電極の隙間にマグネトロン放電プラズマを発生させ、当該中間円筒電極の中心軸に同軸で筒状又は棒状のターゲット電極を配設し、当該ターゲット電極と前記中間筒状電極の間に高電圧を印加することにより、前記マグネトロン放電プラズマ中に存在する電子またはイオンを中心軸に設置したターゲット電極に向け加速することを特徴とする電子線照射装置。

IPC (6)：

G21K 5/04 ,  G02B 6/44 301 ,  G21K 1/00 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/10 ,  H01B 13/14

FI (7)：

G21K 5/04 F ,  G21K 5/04 S ,  G02B 6/44 301 Z ,  G21K 1/00 E ,  G21K 5/00 M ,  G21K 5/10 L ,  H01B 13/14 Z

F-Term (5)：

2H050BA12 ,  2H050BA17 ,  2H050BA21 ,  5G325JB12 ,  5G325JB17