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J-GLOBAL ID：200903035594864887

半導体製造工場

Inventor： 長瀬 誠 ,  浜本 雅啓 ,  伊東 新一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996266964
Publication number (International publication number)：1998116758
Application date： Oct. 08, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】クリーンルームの面積を最小化して、建設コスト並びに維持コストを低減する。【解決手段】生産設備本体9と補機11の設置面積の大小に応じて最適な床下構造の区域に設置し、異なる床下構造を持つ区域を組合わせた建屋とする。

Claim (excerpt)：

半導体製造装置を設置するクリーンルームにおいて、生産階を主たるウェハの区域間の搬送経路とし、壁で仕切られた区域ごとに、区域内に設置する生産設備と補機の占有床面積比に応じて面積比が1より大きい区域では床下層にもう一層生産階を、1より小さい区域で床下を複数階とする床下構造を有する複数の区域を組合わせていることを特徴とする半導体製造装置。