エアロゾル法及び装置、粒子製品、並びに該粒子製品から製造される電子装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998536958
Publication number (International publication number)：2001513697
Application date： Feb. 24, 1998
Publication date： Sep. 04, 2001
Summary：

【要約】各種材料からなる粒子製品を製造するための、エアロゾル法、及びそれに付随する装置が提供される。本発明は、超音波エアロゾル生成装置(106)の使用を含むものであり、該超音波装置は、多数の超音波変換器(120)を含んでなり、該多数の超音波変換器は液体供給原料(102)の貯槽の下に配置されて該貯槽を超音波により賦活し、エアロゾル液小滴を発生させるものである。キャリアガス(104)は、ガス導出系からガスを導出する多数のガス導出ポート(136)により貯槽各部へ導出される。エアロゾルは熱分解されて粒子を形成し、該粒子はその後冷却されて捕集される。また本発明は、該方法により製造された粉体、並びに、該粉体を利用して製造された装置を提供するものでもある。

Claim (excerpt)：

粒子製品を製造するためのエアロゾル法において、キャリアガス内に懸濁した液小滴を含んでなるエアロゾル流を生成する工程であって、該生成は、超音波により賦活された流動性媒体からなる貯槽から前記液小滴が放出されるように、前記キャリアガスと共に前記液小滴を吹き飛ばすことからなり、前記流動性媒体は、液体と、粒子製品に含まれるべき材料の少なくとも一の前駆体とからなるものである工程と、前記液体の少なくとも一部を前記エアロゾル流の前記液小滴の少なくとも一部から除去して、前記材料を含んでなる粒子を形成する工程とからなり、前記エアロゾル流を生成する前記工程の間、前記流動性媒体が、前記貯槽の下に配置されてなる多数の超音波変換器により超音波賦活されてなるエアロゾル法。

IPC (2)：

B01J 2/04 , B01J 2/00

FI (2)：

B01J 2/04 , B01J 2/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

ミスト熱分解法によるセラミック微粉末の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-086064 Applicant：新技術事業団
金属粉末の噴霧熱分解製造方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-333547 Applicant：住友金属鉱山株式会社
特開昭63-069710

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