Pat

J-GLOBAL ID：200903035634914785

微小回転角センサを用いた装置

Inventor： 菊川 敦 ,  保坂 純男 ,  小柳 肇 ,  江藤 公俊
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998345443
Publication number (International publication number)：1999257936
Application date： Dec. 04, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 共振周波数を大きく、かつ、バネ定数は十分に小さくしたカンチレバーを持つ記録再生装置等の応用装置を提供すること。【解決手段】 光を反射する部分の面積が小さな光てこ式の記録再生または観察装置であって、半導体レーザから放射されたレーザ光は、コリメータレンズと絞りを通過後、偏光ビームスプリッタで反射され、対物レンズで集光されてカンチレバーの表面に入射され、カンチレバーの表面上で反射され、レンズで集光された後、ポジションセンサで受光される。前記入射光または反射光のいずれかは前記入射光または反射光の光軸と実質的に90°異なる光軸を介して入射され、あるいは取り出される。

Claim (excerpt)：

カンチレバーに保持された探針と該探針と対向する面を有する部材を備えた装置であって、前記カンチレバーの探針を設けた面とは異なる面に焦点位置を合わせて平行光を焦点に絞り込む対物レンズと、前記焦点に置かれた前記カンチレバーの前記異なる面への入射光の該面からの反射光を検出する手段と、検出された反射光データから前記平行光の光軸と前記カンチレバーの表面との角度を検出する手段とよりなる回転角検出器を備え、前記入射光または反射光のいずれかは前記光軸と実質的に90°異なる光軸を介して入射され、あるいは取り出されるものである光てこ式の記録再生または観察装置。

IPC (4)：

G01B 11/26 ,  G01B 21/30 ,  G01N 37/00 ,  G11B 9/00

FI (5)：

G01B 11/26 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 37/00 Y ,  G01N 37/00 F ,  G11B 9/00