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J-GLOBAL ID：200903035683141279

レジスト組成物

Inventor： 金谷 大介 ,  小寺 孝兵 ,  池谷 晋一
Applicant, Patent owner： 松下電工株式会社
Agent (1)： 松本 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992012444
Publication number (International publication number)：1993204140
Application date： Jan. 27, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 液状のレジスト組成物における塗布性能と解像性の両立を図る。【構成】 液状のレジスト組成物に配合する非ニュートン性付与物質として、その他の成分の少なくとも1種に膨潤する物質、たとえば、ひまし油変性物を用いる。

Claim (excerpt)：

非ニュートン性付与物質を含む液状のレジスト組成物であって、非ニュートン性付与物質として、その他の成分の少なくとも1種に膨潤する物質が用いられていることを特徴とするレジスト組成物。

IPC (4)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00