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J-GLOBAL ID：200903035715317404

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 伊東 修一
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998073923
Publication number (International publication number)：1999271342
Application date： Mar. 23, 1998
Publication date： Oct. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】共振周波数が高く且つ剛性の高いスキャナを備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】カンチレバー20の探針22を試料16表面に沿ってXY方向に走査させることが可能なXY走査機構24と、カンチレバーの探針を試料に対してZ方向に移動させることが可能なZ移動機構26と、XY走査機構とZ移動機構との間に設けられ且つカンチレバーの変位を検出することが可能な変位検出機構28とを備えている。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの探針を試料表面に沿って水平方向に走査させることが可能な走査機構と、カンチレバーの探針を試料に対して垂直方向に移動させることが可能な移動機構と、走査機構と移動機構との間に設けられ且つカンチレバーの変位を検出することが可能な変位検出機構とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 X