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J-GLOBAL ID：200903035732843829

マイクロ波によるプラズマ発生装置

Inventor： ゲッシュ ローランド ,  クレットシュメル カール-ハインツ
Applicant, Patent owner： ライボルト アクチエンゲゼルシヤフト
Agent (1)： 奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1990417810
Publication number (International publication number)：1993326189
Application date： Dec. 21, 1990
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 円偏向されたマイクロ波によってプラズマを発生する装置を提供する。【構成】 マイクロ波発振器からの直線偏向されたマイクロ波を市販のモード変換器で円偏波に変換し、その後ホーンを経てプラズマチェンバ内に供給する。従ってモード変換器は電力供給源の幾何学的形状に整合させる必要はもはやない。又、プラズマの量従って基板表面を著しく大きくすることができる。

Claim (excerpt)：

マイクロ波発振器(17)と、このマイクロ波発振器(17)に接続されたモード変換器(12)と、プラズマチェンバ(1, 21, 64) とを備え、円偏向されたマイクロ波によってプラズマ(70)を発生させる装置において、前記モード変換器(12)によって直線偏向されたマイクロ波を円偏向されたマイクロ波に変換し、これによりH11 基本波をその内部に優先して伝播し、円形-円柱ホーン導波管(10, 62)によってその入力開口を前記モード変換器(12)に隣接させると共にその出力開口をプラズマチェンバ(1, 21, 64) に隣接するようにしたことを特徴とするマイクロ波によるプラズマ発生装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特公昭62-053920