Pat

J-GLOBAL ID：200903035750846002

磁気記録体の製造装置の基板ホルダー

Inventor： 谷 典明 ,  中村 久三 ,  石川 道夫 ,  鈴木 郁生 ,  白 忠烈
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 北村 欣一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993055765
Publication number (International publication number)：1994264237
Application date： Mar. 16, 1993
Publication date： Sep. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 非磁性基板にスパッタ法で合金磁性膜を形成する際、高い保磁力を有する磁気記録体を容易に製造することが出来る磁気記録体の製造装置に用いる基板ホルダー。【構成】 基板ホルダーの非磁性基板を保持する基板の受部が、基板ホルダーに開口された透孔の開口縁に設けられた基板の端縁に4個所以上接する点状であり、各受部の間に幅2mm以上で、長さ3mm以上の櫛形状の空隙を有する。

Claim (excerpt)：

スパッタ法により非磁性基板上に5at%以上のCrを含有するCo合金磁性膜を形成して成る磁気記録体の製造装置であって、該装置の非磁性基板を支持する基板ホルダーを通して基板に直流のバイアス電圧を印加する磁気記録体の製造装置の基板ホルダーにおいて、前記基板ホルダーの非磁性基板を保持する基板の受部は基板ホルダーに開口された透孔であって、該透孔の開口縁と基板の端縁の接触が4個所以上で、かつ該受部間に幅2mm以上で長さ3mm以上の櫛形状の空隙を有することを特徴とする磁気記録体の製造装置の基板ホルダー。

IPC (3)：

C23C 14/50 ,  G11B 5/85 ,  H01F 41/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特公平4-050653
  
• 特開平3-036266
  
• 特開平4-000709