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J-GLOBAL ID：200903035770153712

連続真空シール装置

Inventor： 松尾 祐三 ,  北折 典之 ,  吉田 修 ,  水野谷 博英 ,  佐々木 克己 ,  志賀 章 ,  石川 准子
Applicant, Patent owner： 花王株式会社
Agent (1)： 古谷 馨 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995181803
Publication number (International publication number)：1997031652
Application date： Jul. 18, 1995
Publication date： Feb. 04, 1997
Summary：

【要約】【目的】 水分が真空側へ取り込まれることが阻止できる連続真空シール装置を提供すること。【構成】 本発明の連続真空シール装置は、段階的に高い真空になっていく一連の減圧室を有し帯状体が各減圧室を通過するように構成された連続真空シール装置において、10-2〜10-4Torrの真空圧を有する減圧室内にボンバード電極を帯状体の両側に配設したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

段階的に高い真空になっていく一連の減圧室を有し帯状体が各減圧室を通過するように構成された連続真空シール装置において、10-2〜10-4Torrの真空圧を有する減圧室内にボンバード電極を帯状体の両側に配設したことを特徴とする連続真空シール装置。