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J-GLOBAL ID：200903035782255650

ガラス状カーボン材及びその製造方法並びにそれを基材とするドライエッチング電極又はダミーウェーハ

Inventor： 太田 直人 ,  尾藤 信吾 ,  野崎 秀彦 ,  曽我部 敏明
Applicant, Patent owner： 東洋炭素株式会社
Agent (1)： 梶 良之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998015738
Publication number (International publication number)：1999217265
Application date： Jan. 28, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：

【要約】【課題】 実用上無気孔のガラス状カーボン材を提供する。【解決手段】 重量平均分子量が1000以上であって、前記重量平均分子量と数平均分子量の比で規定される分子量分布が1.1〜5.0の範囲にある熱硬化性樹脂を炭素化して得られるガラス状カーボン材である。このようなガラス状カーボン材を基材に用いてドライエッチング電極又はダミーウェーハを得る。

Claim (excerpt)：

重量平均分子量が1000以上であって、前記重量平均分子量と数平均分子量の比で規定される分子量分布が1.1〜5.0の範囲にある熱硬化性樹脂を炭素化して得られるガラス状カーボン材。

IPC (4)：

C04B 35/52 ,  C01B 31/02 101 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/3065

FI (4)：

C04B 35/52 A ,  C01B 31/02 101 A ,  H01L 21/02 B ,  H01L 21/302 B