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J-GLOBAL ID：200903035813918521

基板処理装置

Inventor： 梨本 清 ,  高橋 信行
Applicant, Patent owner： 日電アネルバ株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992120075
Publication number (International publication number)：1993287527
Application date： Apr. 14, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 基板搬送機構と基板ステージとの初期位置合せを容易に行い、且つその後に必要となる再度の位置合せを自動化して容易に行える基板搬送機構を有する基板処理装置を実現する。また基板搬送機構の可動部分の移動先場所を任意に変更できる追尾機構を備える。【構成】 基板を処理するためのステージ17を備えるチャンバ2〜7と、基板搬送機構13を備えるチャンバ1を有し、基板搬送機構によって基板をチャンバのステージに搬送して配置し又はステージ上の基板を把持して他の場所に搬送するように構成され、基板搬送機構の可動部分とステージの位置関係を検出する位置検出手段2と、位置検出手段で検出した位置情報を入力し、この位置情報と予め用意された基準位置データとを比較し、検出される位置情報が基準位置データと一致するように基板搬送機構の動作を制御する制御手段16とを備える。制御手段は、操作手段22を有し、この操作手段を介して基準位置データは入力され、制御手段のデータ格納部に格納される。基準位置データは複数用意され、そのうちのいずれか1つが選択され、使用される。

Claim (excerpt)：

基板を処理するためのステージを備えるチャンバと、基板搬送機構を備えるチャンバを有し、前記基板搬送機構によって基板を前記ステージに搬送して配置し又は前記ステージ上の基板を把持して他の場所に搬送するように構成された基板処理装置において、前記基板搬送機構の可動部分と前記ステージの位置関係を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段で検出した位置情報を入力し、この前記位置情報と予め用意された基準位置データとを比較し、検出される前記位置情報が前記基準位置データと一致するように前記基板搬送機構の動作を制御する制御手段とを備えることを特徴とする基板処理装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭58-073187
  
• 特開昭61-145014
  
• 特開平4-180561