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J-GLOBAL ID:200903035814240340

空気分離装置における不純物除去装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小谷 悦司 (外3名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991343340
Publication number (International publication number):1993172458
Application date: Dec. 25, 1991
Publication date: Jul. 09, 1993
Summary:
【要約】【目的】 空気分離装置において、原料空気中の一酸化炭素及び水素を高レベルで除去することにより、超高純度窒素の製造を可能にする。【構成】 原料空気中の一酸化炭素及び水素の酸化を促進させる触媒塔20と、この触媒塔20に原料空気を通す原料空気通路12,18,24,34とを備えた不純物除去装置。上記触媒塔20よりも上流側の位置に、上記原料空気中から上記触媒塔20の触媒毒となる炭化水素と二酸化炭素と水とを吸着除去する吸着ユニット14を配置する。
Claim (excerpt):
空気分離装置に設けられ、その低温分離部に導入される前の原料空気から不純物を除去するための装置であって、上記原料空気中の一酸化炭素及び水素の酸化を促進させる触媒装置と、この触媒装置に原料空気を通して上記低温分離部へ導く原料空気通路とを備えるとともに、この原料空気通路において上記触媒装置よりも上流側の位置に、上記原料空気中から上記触媒装置の触媒毒となる炭化水素と二酸化炭素と水とを吸着除去する吸着装置を設けたことを特徴とする空気分離装置における不純物除去装置。
IPC (2):
F25J 3/08 ,  B01D 53/36 104
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平3-194381

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