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J-GLOBAL ID：200903035816142702
ダイヤモンド結晶およびダイヤモンド結晶膜の形成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993066992
Publication number (International publication number)：1994279185
Application date： Mar. 25, 1993
Publication date： Oct. 04, 1994
Summary：
【要約】【構成】 高周波プラズマを利用するダイヤモンド結晶形成法、特にCVD法およびスパッタリング法において、(1)高周波の周波数を40MHzないし250MHzとし、(2)プラズマ電位とほぼ等しい基体バイアスを基体に印加し、さらに(3)原料ガス組成、結晶の核発生密度および基体温度を制御することにより、高さの揃った平板ダイヤモンド結晶を形成し、更にそれを成長、合体および膜状成長させることによってダイヤモンド結晶膜を形成する。【効果】 平板ダイヤモンド結晶および膜厚の均一性の高いダイヤモンド結晶薄膜を、安定的に、高い形成速度で、しかも大面積に形成することができる。
Claim (excerpt)：
高周波プラズマによる結晶析出法を用いるダイヤモンド結晶の形成方法において、高周波数の周波数を40MHzないし250MHzとし、かつプラズマ電位とほぼ等しい基体バイアスを基体に印加することを特徴とするダイヤモンド結晶の形成方法。
IPC (2)：
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