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J-GLOBAL ID：200903035820142458

静電吸着装置

Inventor： 菅野 誠一郎 ,  妻木 伸夫
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995261222
Publication number (International publication number)：1997102536
Application date： Oct. 09, 1995
Publication date： Apr. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】プラズマの有無に関わらずスイッチのオン・オフによってウエハの吸着脱離を行うことができ、温度制御性がよく、ウエハ処理面に異物が付着することが少なく、かつ、スループットのよい静電吸着装置を提供する。【解決手段】導電性の電極1に貫通孔を設け、この孔にピン電極7をその表面が電極よりも高くなるように電気的絶縁を保ちつつ取り付ける。電極1とピン電極7の表面に誘電膜5を表面が平坦となるように形成する。そして、電極1とピン電極7間に直流電圧8を印加しウエハ6を静電気的に吸着する。

Claim (excerpt)：

少なくとも1個の貫通孔を設けた第一の導電性電極を有し、前記貫通孔内には第二の導電性電極が前記第一の導電性電極とは電気的に絶縁されつつ端部が突出するように挿入され、前記第一の導電性電極及び前記第二の導電性電極の表面に平坦な誘電膜を形成し、前記第一の導電性電極及び前記第二の導電性電極間に電位差を与えることを特徴とする静電吸着装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (4)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B