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J-GLOBAL ID：200903035839092966

光起電力装置の製造方法

Inventor： 鈴木 康則 ,  石丸 浩
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 鳥居 洋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993161190
Publication number (International publication number)：1995079002
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： Mar. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 凹凸形成部分には光起電力素子を、平坦部分にはカッティング部や配線構造部を、それぞれ位置的に正確に形成し、光電変換効率および歩留りの向上を図ることができる光起電力装置の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 可撓性樹脂シート12を支持基台11上に配置し固定する工程と、この樹脂シート12上にレーザー光を選択的に照射することにより所定パターンに凹凸領域を形成する工程と、上記凹凸領域が形成された樹脂シート12上に、金属電極13と薄膜半導体層14と透明電極15とから成る光電変換素子16を形成し、シリーズ化のための素子分離及び隣接する素子の直列接続を前記凹凸が形成されていない平坦領域上で行う工程と、前記樹脂シート12を支持基台11から分離することにより光起電力装置を基台から剥離する工程とを備える。

Claim (excerpt)：

可撓性を有する樹脂シートを支持基台上に配置し固定する工程と、この固定された樹脂シート上にレーザー光を選択的に照射することにより所定パターンに凹凸領域を形成する工程と、上記凹凸領域が形成された樹脂シート上に、透明電極と背面電極と薄膜半導体層とから成る薄膜の光電変換素子を形成し、シリーズ化のための素子分離及び隣接する素子の直列接続を前記凹凸が形成されていない平坦領域上で行う工程と、前記樹脂シートを支持基台から分離することにより光起電力装置を基台から剥離する工程と、を備えることを特徴とする光起電力装置の製造方法。