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J-GLOBAL ID：200903035873600237

電子顕微鏡システム

Inventor： 山 崎 正 宣 ,  薄 敏 彦
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995298645
Publication number (International publication number)：1997139406
Application date： Nov. 16, 1995
Publication date： May. 27, 1997
Summary：

【要約】【課題】 欠陥・異物の高分解能観察の自動化。【解決手段】 異物存在座標に顕微鏡視野を移動し、観察倍率を、検査装置及び顕微鏡の座標誤差を許容し得る最大値に設定して、最適画像を表示し(ST-1)、計算機上に取込む。1は試料表示領域、2は異物或いは欠陥である。その後2次電子像を任意行列のピクセル3に分割し(ST-2)、各ピクセルの2次電子強度を任意階調に分割したグレイレベル値(G値)に数量化する(ST-3)。nは正常G値、xは異物存在G値である。そして特異点を顕微鏡視野中心に移動し、任意行列を観察可能な倍率に変更する(ST-4)。4は更に分割したピクセルを示す。以降可及的な最大倍率での表示となるまで同様処理を繰返し、観察画像を計算機に保存する。【効果】 該欠陥・異物の高分解能観察の自動化が可能となり、走査型電子顕微鏡のランニングコスト大幅削減が実現される。

Claim (excerpt)：

ウェーハの異常部の有無を検査する異常検査装置と、その検査結果に基づいて電子顕微鏡の視野を前記ウェーハの異常部存在領域に設定する顕微鏡視野設定手段と、前記電子顕微鏡においてその異常部存在領域の像から、異常部を特異点として自動的に検出し、その特異点についての情報を得る観察処理手段とを備えることを特徴とする電子顕微鏡システム。

IPC (5)：

H01L 21/66 ,  G01N 23/00 ,  G01N 23/18 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/256

FI (5)：

H01L 21/66 J ,  G01N 23/00 ,  G01N 23/18 ,  H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/256