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J-GLOBAL ID：200903035883265789
超純水製造装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993069984
Publication number (International publication number)：1994277662
Application date： Mar. 29, 1993
Publication date： Oct. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 TOC以外の水質を低下させずに維持した状態で超純水のTOCを減少させる。【構成】 被処理水3をH形強酸性陽イオン交換樹脂と、OH形強塩基性陰イオン交換樹脂と、アンバーソーブXE-572とを混合した第1処理部1に通水し、次いで少なくともOH形強塩基性陰イオン交換樹脂を充填した第2処理部に通水して処理水9を取り出す。
Claim (excerpt)：
H形強酸性陽イオン交換樹脂とOH形強塩基性陰イオン交換樹脂と炭素状吸着剤との混合層を有する第1処理部と、前記第1処理部の流出部側に連結された少なくともOH形強塩基性陰イオン交換樹脂を有する第2処理部とを有し、前記第1処理部の流入部に供給された被処理水が、まず第1処理部、次いで第2処理部で順次処理された後、第2処理部の流出部から取り出されるように構成したことを特徴とする超純水製造装置。
IPC (2)：
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