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J-GLOBAL ID:200903035887305017

スパッタ用ターゲット

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993117457
Publication number (International publication number):1994330296
Application date: May. 19, 1993
Publication date: Nov. 29, 1994
Summary:
【要約】【目的】 金属アレルギーを引き起こさず、しかも優れた金色の色調と耐摩耗性とを有する金色装飾品を製造するための、スパッタ用ターゲットを得る。【構成】 スパッタ用ターゲットが、Au90〜99重量%、Pd0.2〜2.0重量%、およびFe0.8〜8.0重量%からなる。
Claim (excerpt):
Au90〜99重量%、Pd0.2〜2.0重量%、およびFe0.8〜8.0重量%からなる、金色加飾のためのスパッタ用ターゲット。

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