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J-GLOBAL ID：200903035918732318

基板把持装置及び研磨装置

Inventor： 大和田 伸
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999045454
Publication number (International publication number)：2000246628
Application date： Feb. 23, 1999
Publication date： Sep. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】 基板の背圧や研磨境界面の温度の制御を、比較的簡単な構成でより厳密に行うことができるような基板把持装置を提供する。【解決手段】 基板保持面を有する把持板12を備え、該基板保持面に基板Wを保持して基板Wの被研磨面を研磨テーブルの研磨面に押し付けて研磨を行なうための基板把持装置において、把持板12には、局所的に変形して前記基板保持面の凹凸を調整するアクチュエータが設けられている。

Claim (excerpt)：

基板保持面を有する把持板を備え、該基板保持面に基板を保持して基板の被研磨面を研磨テーブルの研磨面に押し付けて研磨を行なうための基板把持装置において、前記把持板には、局所的に変形して前記基板保持面の凹凸を調整するアクチュエータが設けられていることを特徴とする基板把持装置。

IPC (2)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00

FI (2)：

B24B 37/04 E ,  B24B 37/00 B

F-Term (10)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058BA07 ,  3C058BA08 ,  3C058BB02 ,  3C058BC01 ,  3C058CB05 ,  3C058DA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 研磨装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-061716   Applicant：株式会社日立製作所