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J-GLOBAL ID：200903035930562347
ターボ分子真空ポンプ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川口 義雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995210660
Publication number (International publication number)：1996068388
Application date： Aug. 18, 1995
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：
【要約】【課題】 剛性のあるロータを持ち、小型で、ガスの抜けが少ないポンプを提供する。【解決手段】 ステータ(6、8)とロータ(1)とを含み、ロータが鐘型能動部分(3)と中央軸(5)とを含み、ステータが、外側部(6)と、鐘型能動部分(3)の空隙部(9)に入り駆動モータのステータ部分(10、11)を支持する内側部(8)とを含み、ロータの軸(5)が駆動モータのロータ部分を支持するターボ分子真空ポンプであって、中央軸(5)とロータの鐘型能動部分(3)とが組み立てる必要のない一体型でありかつ非磁性材質からなり、軸(5)が、円筒形永久磁石(12)から成る駆動モータのロータ部分を収納する中央内径部(13)を含むことを特徴とするターボ分子真空ポンプ。
Claim (excerpt)：
鐘型能動部分(3)と中央軸(5)とを含むロータ(1)と、外側部(6)と、前記鐘型能動部分(3)の空隙部(9)に入り駆動モータのステータ部分(10、11)を支持する内側部(8)とを含むステータ(6,8)とを備えており、前記ロータの軸(5)が前記駆動モータのロータ部分を支持するターボ分子真空ポンプであって、前記中央軸(5)とロータの鐘型能動部分(3)とが組み立てる必要のない一体型でありかつ非磁性材質からなり、前記軸(5)が、円筒形永久磁石(12)から成る、前記駆動モータのロータ部分を収納する中央内径部(13)を含むことを特徴とするターボ分子真空ポンプ。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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