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J-GLOBAL ID：200903035930863444

流量検出素子及び流量センサ

Inventor： 山下 彰 ,  坂井 裕一 ,  吉田 幸久 ,  堤 和彦
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998093393
Publication number (International publication number)：1999295126
Application date： Apr. 06, 1998
Publication date： Oct. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】 出力値のばらつきが小さく信頼性に優れた流量検出素子あるいは流量センサを得る。【解決手段】 流量検出素子ないしは流量センサにおいては、平板状基材1の表面に絶縁性の支持膜3が形成され、該支持膜3の上に複数の感熱抵抗体6、7が配置されている。そして、感熱抵抗体6、7ないしは支持膜3は、絶縁性の保護膜4によって覆われている。また、感熱抵抗体6、7が形成されている領域の下方で、平板状基材1が裏面側から部分的に除去されて開口部2が形成され、これによりダイヤフラム部Dが形成されている。ここで、ダイヤフラム部Dの短幅方向の長さをWとし、ダイヤフラム部Dの撓み量をSとすれば、S/Wが1/50以下に設定され、これにより、出力値のばらつきが低減され、流量検出素子あるいは流量センサの信頼性が高められている。

Claim (excerpt)：

平板状の基材と、前記基材の表面に配置された絶縁性の支持膜と、前記支持膜の上に配置され該支持膜によって支持された、感熱抵抗膜よりなる複数の発熱部と、前記発熱部の上に形成され、該発熱部を保護する絶縁性の保護膜とを備えていて、前記発熱部が形成されている領域の下方で前記基材が部分的に除去されてダイヤフラム部が形成され、計測流体の流れの方向にみて、上流側の発熱部と下流側の発熱部の加熱電流の差に相当する量に基づいて前記計測流体の流量を計測するようになっている感熱式流量検出素子であって、前記ダイヤフラム部の平面視における短幅方向の長さをWとし、前記ダイヤフラム部の上下方向の撓み量をSとすれば、S/Wが1/50以下であることを特徴とする流量検出素子。

IPC (3)：

G01F 1/68 ,  F02D 35/00 ,  G01P 5/12

FI (3)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C ,  F02D 35/00 366 E