慣性センサー

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：波多野久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992049519
Publication number (International publication number)：1993248872
Application date： Mar. 06, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は、小型軽量の振動ジャイロとして適用できるとともに、加速度センサーとしても適用できる慣性センサーを提供することを目的とする。【構成】基板6上に導電性材料のパターニング加工により間隔的に形成された複数の脚部1と、同パターニング加工により形成され基板6上に浮いた状態で脚部1間を連結するアーム部2と、脚部1の中間に配置してアーム部2に支持され基板6上に浮いた状態とされた質量部3とにより慣性機構部9を形成する。この慣性機構部9を駆動する手段とその動きを検知する手段との両者、または前記慣性機構部の動きを検知する手段のみを備える。

Claim (excerpt)：

基板上にパターニング加工により間隔的に形成された複数の脚部と、同パターニング加工により形成され前記基板上に浮いた状態で前記脚部間を連結するアーム部と、前記脚部の中間に配置して前記アーム部に支持され前記基板上に浮いた状態とされた質量部とにより慣性機構部を形成し、前記慣性機構部の動きを検知する手段を備えてなることを特徴とする慣性センサー。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特許第5016072号
特開昭60-213814
特開昭60-192206

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Cited by examiner (4)

特許第5016072号
特開昭60-213814
特開昭60-192206

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