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J-GLOBAL ID：200903035985516158

イオンビームによる元素分析装置

Inventor： 若狭 秀一郎 ,  佐々木 太郎
Applicant, Patent owner： イオン加速器株式会社
Agent (1)： 大塚 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000032276
Publication number (International publication number)：2001221754
Application date： Feb. 09, 2000
Publication date： Aug. 17, 2001
Summary：

【要約】【課題】 粒子線励起X線法による元素分析を大気中で行い、真空環境の形成を必要としない効率的で、経済的な元素分析装置を提供する。【解決手段】 ビーム導入管2の先端とX線検出器3のX線導入用スリーブ3aの先端を互いに接近させて配置し、ビーム導入管2とX線導入用スリーブ3aの先端部内にヘリウムガスを導入し、先端からヘリウムガスを噴射する。試料S、ビーム導入管2の先端、X線導入用スリーブ3aの先端の三者に囲まれた小空間にヘリウムガス雰囲気を形成し、この雰囲気内でイオンビーム照射、特性X線の導入を行う。テーブル1の下方には、試料Sを挟んでビーム導入管2の先端と対向するようにイオンビームの電流測定用ファラディカップを設け、これに窒素ガス導入管を接続し、試料の下面からファラディカップまで空間の空気を排除して窒素ガス雰囲気を形成する。空気中のアルゴン等の物質の存在に伴う元素分析の障害を除去する。

Claim (excerpt)：

加速器からビームコリメータを経て発射されたイオンビームをビーム導入管を介して大気中のテーブル上の試料に照射し、試料から発生するX線をX線検出器で検出し、X線のスペクトルにより元素分析を行う装置であって、前記ビーム導入管と前記X線検出器のX線導入用スリーブが、相互に先端を接近させて配置され、前記ビーム導入管とX線導入用スリーブの少なくとも先端部内にヘリウムガスが導入され、ビーム導入管とX線導入用スリーブの先端から噴射されるヘリウムガスにより、試料とビーム導入管の先端及びX線導入用スリーブの先端に囲まれた小空間にヘリウムガス雰囲気が形成されることを特徴とするイオンビームによる元素分析装置。

F-Term (11)：

2G001AA05 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001FA12 ,  2G001GA01 ,  2G001GA10 ,  2G001JA14 ,  2G001KA01 ,  2G001SA02 ,  2G001SA04