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J-GLOBAL ID：200903035997167973

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 森本 高史 ,  村山 健 ,  小野里 陽正 ,  白井 隆 ,  黒田 浩史
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997102775
Publication number (International publication number)：1998282127
Application date： Apr. 04, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 探針の試料への接近動作において、探針が試料に衝突することなく安全に接近でき、かつ接近時間を短縮できる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 探針14と試料11を物理的影響(トンネル電流や原子間力など)が生じる程度に接近させた状態で探針を試料表面に沿って走査させ、探針の位置変化の情報に基づいて試料の表面情報を得、試料表面を観察する装置であって、探針の試料への接近動作を行う前の段階で、観察しようとする試料の測定面の高さ位置を事前に測定する高さ測定器18を備える。

Claim (excerpt)：

探針と試料を物理的影響が生じる程度に接近させた状態で前記探針を試料表面に沿って走査させ、前記探針の位置変化の情報に基づいて前記試料の表面情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、前記試料の測定面位置を測定する測定器を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (5)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 B ,  G01B 21/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z