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J-GLOBAL ID：200903035998545408

レーザー装置の冷却装置

Inventor： 吉原 雅也
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 伊藤 進
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992278956
Publication number (International publication number)：1994125916
Application date： Oct. 16, 1992
Publication date： May. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 十分な冷却能力を確保して、励起ランプの点灯性を良好に保ちつつ、安定したレーザー出力を得ることができるようにすること。【構成】 タンク1に貯留された冷却用水は、一部をイオン交換樹脂8を通して循環させる。ポンプ2により循環させられる流量の残りは、レーザー発振器4の励起ランプ21に送った後、加温された冷却用水を熱交換器5を介して冷却される。制御装置9により、タンク1内に設けられた温度センサー10が検知した温度が所定値以上のとき、電磁弁便7を閉めて、イオン交換樹脂8に流れる冷却用水の流量をカットする。つまり、レーザー発振器4の励起ランプ21に送る冷却水の流量を増やし、冷却効率を上げ、ランプの温度上昇を止める。

Claim (excerpt)：

タンクに貯留された冷却用水が循環駆動手段により循環させられる流量のうち、その一部をイオン交換手段を通して前記冷却用水中のイオンを除去し、再度前記タンクに送り返す一方、残りの流量をレーザー発振手段の発熱源に送った後、前記発熱源により加温された前記冷却用水を熱交換手段を介して冷却して前記タンクに再度送り返すレーザー装置の冷却装置において、前記冷却用水の温度またはレーザー発振手段の発熱源の温度の少なくとも一方を検知する温度検知手段と、前記イオン交換手段を流れる前記冷却用水の流量を調整する流量調整手段と、前記温度検知手段の検知した温度に基づいて、前記流量調整手段による流量調整を制御する制御手段とを設けていることを特徴とするレーザー装置の冷却装置。