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J-GLOBAL ID：200903036000466620

改良された静電気放電特性を備えた真空ピペット用チップ

Inventor： ベルナール・ポーリ ,  ジェラール・シンコル
Applicant, Patent owner： レシフ・ソシエテ・アノニム
Agent (1)： 志賀 正武 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992159563
Publication number (International publication number)：1993211227
Application date： Jun. 18, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【構成】 吸着部1と連結手段2とが大きな抵抗4によって電気的に連絡するとともに、プラスチック絶縁体3がその抵抗を取り囲む。吸着部1はセラミックコーテイングでコーテイングされている。このコーテイングは、吸着部1の静電気放電特性を向上させるような電気伝導度を有している。【効果】 一連の小さな放電に変えることができるのでウエハーにダメージを与えることがない。コーテイングによってチップを作る際に使用される材料からのイオン汚染を防止する。使用中に汚染を引き起こさないように、コーテイングは、基体の材料よりもより平滑でしかも耐摩耗性にすぐれたものである。

Claim (excerpt)：

真空装置にチップを取り付けるために設けられた連結手段と、ウエハーを真空で吸引するための開口部を設けたウエハー吸着部と、2端を有する抵抗部であって、連結手段に連接された第1端とウエハー吸着部に連接された第2端とを有し、連結手段から吸着部を電気的に絶縁しかつ大きな抵抗を有する抵抗部と、開口部に連通するとともに、前記ウエハー吸着部を真空にするために抵抗部を通りかつ前記連結手段に連接された内部ダクト手段とを具備したことを特徴とする半導体ウエハーを操作するための真空装置用チップ。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H05F 3/04