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J-GLOBAL ID：200903036019966615

電極検査装置

Inventor： 前田 博己
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 小西 淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997269224
Publication number (International publication number)：1999094918
Application date： Sep. 17, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】電極パターンの良否を判定するとともに不良位置を特定することができ検査を短時間で済ますことができる電極検査装置を提供する。【解決手段】基板上に形成された電極パターンの所定箇所に接触して電気的な接続を行う複数の接触端子と、前記複数の接触端子の内の少なくとも一対の接触端子に所定電力を供給する電力供給手段と、前記基板上の温度分布を計測して熱画像データを得る熱画像計測手段と、前記熱画像データを画像表示する表示手段と、を具備する電極検査装置。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された電極パターンの所定箇所に接触して電気的な接続を行う複数の接触端子と、前記複数の接触端子の内の少なくとも一対の接触端子に所定電力を供給する電力供給手段と、前記基板上の温度分布を計測して熱画像データを得る熱画像計測手段と、前記熱画像データを入力し熱画像を表示する表示手段と、を具備することを特徴とする電極検査装置。

IPC (5)：

G01R 31/302 ,  G01N 25/72 ,  G01R 31/02 ,  H01J 9/42 ,  H01J 9/50

FI (5)：

G01R 31/28 L ,  G01N 25/72 F ,  G01R 31/02 ,  H01J 9/42 A ,  H01J 9/50 A