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J-GLOBAL ID：200903036080427328

再剥離用水分散型アクリル系粘着シート及びそれに用いる粘着剤組成物

Inventor：
神谷 克彦

About 神谷 克彦

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チャーリー マテュー

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山本 和彦

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渡辺 敬介

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松村 健

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Applicant, Patent owner：
日東電工株式会社

About 日東電工株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001307474
Publication number (International publication number)：2003082307
Application date： Oct. 03, 2001
Publication date： Mar. 19, 2003
Summary：
【要約】【課題】水系で塗工できる水分散型の粘着剤を実現し、特に半導体ウエハ加工用粘着シートとして好適に用いることのできる被着体表面への汚染が少ない再剥離用水分散型アクリル系粘着シートを提供することを目的とする【解決手段】アクリルエマルション系重合体を主成分とする粘着剤組成物を粘着剤層として支持体上に設けてなり、被着体に貼着後再剥離する水分散型アクリル系粘着シートであって、粘着シートをアルミ蒸着ウエハに貼付し、40°C、24時間保存後に再剥離した場合に、アルミ蒸着ウエハ上の炭素原子の増加量が5atomic%以下、さらには粘着シートを4インチミラーウエハに貼付し、23°C、1時間保存後に再剥離した場合に、ミラーウエハ上の0.28μm以上のパーティクル数が25個/4インチウエハ以下である低汚染性の再剥離用水分散型アクリル系粘着シート。
Claim (excerpt)：
アクリルエマルション系重合体を主成分とする粘着剤組成物を粘着剤層として支持体上に設けてなり、被着体に貼着後再剥離する水分散型アクリル系粘着シートであって、当該粘着シートをアルミ蒸着ウエハに貼付し、40°C、24時間保存後に再剥離した場合に、アルミ蒸着ウエハ上の炭素原子の増加量が5atomic%以下である再剥離用水分散型アクリル系粘着シート。
IPC (4)：
C09J 7/02 ,  C08F 2/24 ,  C08F220/00 ,  C09J133/00
FI (4)：
C09J 7/02 Z ,  C08F 2/24 A ,  C08F220/00 ,  C09J133/00
F-Term (46)：
4J004AA10 ,  4J004AB01 ,  4J004AB05 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004CA08 ,  4J004CD08 ,  4J004DA04 ,  4J004EA01 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J011KA06 ,  4J011KA10 ,  4J011KA15 ,  4J011KB22 ,  4J011KB29 ,  4J040DF041 ,  4J040DF051 ,  4J040EB132 ,  4J040GA01 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040GA11 ,  4J040GA22 ,  4J040HB14 ,  4J040HB41 ,  4J040HB44 ,  4J040HC13 ,  4J040HC16 ,  4J040HC22 ,  4J040HD13 ,  4J040JA03 ,  4J040KA11 ,  4J040KA38 ,  4J040LA02 ,  4J040LA08 ,  4J040MA02 ,  4J040MA10 ,  4J040MB03 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA30 ,  4J040PA32 ,  4J040PA42
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (5)
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