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J-GLOBAL ID：200903036083209186

駆動回路一体型電子銃、駆動回路一体型電子銃アレイ、およびこれらの製造方法

Inventor： 藤田 博之 ,  橋口 原
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 八田 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994122806
Publication number (International publication number)：1995335117
Application date： Jun. 03, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電子銃の密度を小さくすることなく、駆動回路を一体化した駆動回路一体型電子銃アレイを提供する。【構成】 少なくとも1個以上の電子銃12と、該電子銃12の下方に配設された駆動回路3、4、5、6がドレイン電極10によって接続された駆動回路一体型電子銃をアレイ状に配置した駆動回路一体型電子銃アレイ。【効果】 駆動回路の上にも電子銃を形成できるので、電子銃の密度が向上する。

Claim (excerpt)：

少なくとも1個以上の電子銃と、該電子銃を駆動する駆動回路とよりなり、該駆動回路が該電子銃の下方に配設されていることを特徴とする駆動回路一体型電子銃。

IPC (5)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02 ,  H01L 21/306 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/15