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J-GLOBAL ID：200903036089242908

カーボン薄膜被覆を有する摺動部材およびその製造方法

Inventor： 馬場 恒明 ,  角谷 桃子 ,  長坂 浩志 ,  宮坂 松甫 ,  阿部 亨 ,  永井 弘
Applicant, Patent owner： 長崎県 ,  株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999250432
Publication number (International publication number)：2001072986
Application date： Sep. 03, 1999
Publication date： Mar. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】 耐摩耗性および摺動性に優れたDLC膜あるいは非晶質カーボン膜をPSII法により被覆した摺動部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基材3の周囲にプラズマを形成し、基材に負のパルス電圧を印加することによってイオン注入を行うプラズマソースイオン注入法により作製したダイヤモンドライクカーボン膜あるいは非晶質カーボン膜であって、水素含有量が30原子%未満である薄膜を摺動面に被覆した。

Claim (excerpt)：

基材の周囲にプラズマを形成し、基材に負のパルス電圧を印加することによってイオン注入を行うプラズマソースイオン注入法により作製したダイヤモンドライクカーボン膜あるいは非晶質カーボン膜であって、水素含有量が30原子%未満である薄膜を摺動面に被覆したことを特徴とする摺動部材。

IPC (6)：

C10M103/02 ,  C09D 1/00 ,  F16C 33/24 ,  F16J 15/12 ,  G11B 5/72 ,  C10N 40:18

FI (5)：

C10M103/02 Z ,  C09D 1/00 ,  F16C 33/24 Z ,  F16J 15/12 Z ,  G11B 5/72

F-Term (18)：

3J011CA05 ,  3J011DA02 ,  3J011QA04 ,  3J011SE02 ,  3J040EA46 ,  3J040FA11 ,  4H104AA04A ,  4H104LA03 ,  4H104PA01 ,  4H104PA16 ,  4H104PA19 ,  4H104QA12 ,  4J038AA011 ,  4J038HA021 ,  5D006AA02 ,  5D006AA05 ,  5D006DA03 ,  5D006FA02