Pat
J-GLOBAL ID：200903036139479556
角速度センサ
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊藤 洋二 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998351511
Publication number (International publication number)：2000180174
Application date： Dec. 10, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 小型化に適した構成を有するとともに、S/N(シグナル/ノイズ比)が向上できるような角速度センサを提供する。【解決手段】 基板4の水平面内において、4個の振動子10〜13が基板4の水平面内の所定点Kを中心に点対称に配置され、各振動子10〜13の外側に検出電極30〜33を設ける。隣接する全ての振動子同士を、基板4の水平面内において所定点Kを中心とした円周方向に逆相で駆動振動させ、基板4と垂直な軸J回りに角速度Ωが発生した時、各振動子の検出錘20〜23は基板4の水平面内において駆動振動と直交する方向に変位する。この変位による検出錘20〜23と検出電極30〜33との間の容量変化を、回路部101にて演算処理して各検出錘20〜23に対し基板4の水平面内に作用する外部加速度をキャンセルしコリオリ力による信号を取り出す。
Claim (excerpt)：
基板(4)に設けられた可動部(10〜13)を前記基板の水平面内で駆動振動させて基板と垂直軸回りに角速度が発生したときに、前記可動部に対して前記基板の水平面内に作用するコリオリ力を検出するようにした角速度センサにおいて、前記可動部は、前記基板の水平面内の所定点(K)を中心に点対称に配置された第1の可動部(10、12)と第2の可動部(11、13)を有し、これら第1及び第2の可動部は、前記所定点を中心とした円周方向に同相で駆動振動するものであり、前記基板の水平面内において前記所定点からみて前記各可動部の外側には、前記可動部の変位を検出する検出部(30〜33)が設けられており、前記検出部からの信号を演算処理して前記コリオリ力による信号を取り出す回路手段(101)を備えていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (6)：
2F105AA02
, 2F105AA10
, 2F105BB03
, 2F105BB13
, 2F105CC04
, 2F105CD03
