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J-GLOBAL ID：200903036143995127

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 下川 努 ,  杉浦 誠 ,  遠藤 昌之 ,  別所 信夫
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995042742
Publication number (International publication number)：1996240911
Application date： Mar. 02, 1995
Publication date： Sep. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 放射線を照射してからPEB処理を行うまでの時間の長さや、PEB処理の加熱温度の如何によらず、得られるパターンの寸法の変化が小さく、優れた耐熱透明性を有する感放射線性樹脂組成物の提供。感度が高く、優れた保存安定性を有し、しかも、解像度および残膜率が高く、耐熱性、基板との密着性に優れたパターンを形成することができる感放射線性樹脂組成物の提供。【構成】 特定のカルボキシル基含有構造単位を含む重合体よりなる(A)成分と、放射線を受けることにより酸を発生する酸発生化合物よりなる(B)成分と、(B)成分より発生した酸の作用により架橋されうる基を少なくとも1個以上有する化合物よりなる(C)成分とを含有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

下記式(1)で表されるカルボキシル基含有構造単位を含む重合体よりなる(A)成分と、放射線を受けることにより酸を発生する酸発生化合物よりなる(B)成分と、前記(B)成分より発生した酸の作用により架橋されうる基を少なくとも1個以上有する化合物よりなる(C)成分とを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】

IPC (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/30 502 R